在相關(guān)國家和國際標(biāo)準(zhǔn)中，保護(hù)材料表面和裝飾形成的覆蓋層，如涂層、涂層、涂層、貼層、化學(xué)成膜等。

　　復(fù)合層厚度測量已成為加工業(yè)和表面工程質(zhì)量測試的重要組成部分，是產(chǎn)品達(dá)到優(yōu)良質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的必要手段。為了使產(chǎn)品國際化，中國的出口商品和外國項目對復(fù)合層的厚度有明確的要求。

　　復(fù)合層厚度的測量方法主要包括：楔形切割法、光截面法、電解法、厚度差測量法、稱重法、x射線熒光法、β射線反向散射法、電容法、磁性測量法、渦流測量法等。前五種方法是檢測，測量手段繁瑣，速度慢，更適合抽樣檢測。

　　X射線和β射線法是無接觸和無損的測量方法，但設(shè)備復(fù)雜且昂貴，測量范圍較小。由于有放射源，用戶必須遵守射線保護(hù)規(guī)范。X射線法可以測量極薄涂層、雙涂層和合金涂層。β射線法適用于基材原子序列號大于3的涂層測量。電容法僅用于測量薄導(dǎo)體絕緣層的厚度。

　　隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，特別是近年來微機技術(shù)的引入，磁性法和渦流法的測厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實用的方向邁進(jìn)了一步。測量分辨率達(dá)到0.1微米，精度可達(dá)1%，大大提高。它是工業(yè)和科學(xué)研究中應(yīng)用最廣泛的測厚儀器，適用范圍廣，測量范圍廣，操作簡單，價格低廉。

　　采用無損法既不破壞覆層也不破壞基材，檢測速度快，能使大量檢測工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行。